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MEMS振镜驱动器
为确保正确驱动 Mirrorcle 的无云台 MEMS 振镜,可提供多种硬件解决方案,以满足各种应用的特定需求。它们确保 MEMS振镜以大角度精细可控的倾斜/倾斜运动。硬件选项包括将低压模拟信号或数字 SPI 信号转换为高压 MEMS 驱动信号的基本驱动程序,以及带有微控制器或 FPGA 的更复杂的控制器。自从这种 MEMS 技术问世以来,已经付出了巨大的努力来不断改进和小型化驱动器电子设备,从而产生非常小的、低噪声、非常低功耗的驱动器解决方案。 应用中推荐的最低集成水平是使用带有指定驱动器的 MEMS振镜来提供适当调节的电压信号。这些驱动器是最低级别的电子集成,需要用户为低通滤波器提供合适的 X 和 Y 位置电压或信号、电源、接地和 TTL 时钟信号。
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