直径高达2.4毫米的集成MEMS振镜是单片制造的，作为无万向节执行器设备结构的集成部分。它们是硅芯片的中心区域，与周围的静电致动器共享相同的微细加工步骤。这些镜子由相同的可用硅层构成，具有几乎完全平坦和光滑的硅表面。在四个侧面，镜子连接到提供两轴运动的双轴连杆。自2016年以来，我们不断库存具有以下直径的集成反射镜的设备：0.8毫米、1.2毫米、2.0毫米和2.4毫米。所有库存的集成反射镜都涂有纯铝，可在非常宽的波长范围内提供高反射率。金金属化可以在晶圆规模上进行，因此可用于更大的生产订单。

镜子尺寸：0.8毫米、1.2毫米、1.6毫米、2.0毫米和2.4毫米直径库存。

点对点驱动下的最大倾斜角：-6°至+6°机械每个轴，因设计类型而异。

共振驱动下的最大倾角：-7°至+7°机械

单轴选项：大多数设计都可以提供纯单轴运动。

表面粗糙度：<10 nm rms

驱动方法：静电驱动，使用Mirrorcle的偏置差分四通道MEMS驱动器

镜面曲率半径：>5 m

镜面涂层：铝或金

位置重复性：室温下优于0.001°（1毫度）

工作温度：MEMS Mirror工作温度：-40°C至125°C（具体产品规格取决于封装）

光学窗口：抗反射涂层熔融石英窗口。可拆卸的。

A型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，400nm – 675nm双面增透膜，AOI 22.5°

B型：熔融石英（20/10），0.5mm厚，675nm - 1040nm双面增透膜，AOI 22.5°

C型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，1040nm – 1600nm双面增透膜，AOI 22.5°

*客户特定波长和AOI可用于100件以上的数量。

光功率处理：高达2W任何镜子，任何波长。2W以上取决于反射镜尺寸、镀膜和波长。例如。3W CW蓝色或绿色在2毫米或更大的镜子上。

第一共振旋转频率：对于小镜子尺寸的两个轴>3 kHz，对于2.0mm尺寸的>1.2kHz等。

倾斜角是模拟的，而不是开关

这是不能用于任意方向光束控制的数字微镜元件的关键区别。换句话说，如果需要6.15°的倾斜角，只需施加正确的电压，即可获得该角度（或任何其他角度）并将其保持任何时间长度，而功耗几乎为零。

点对点扫描

这些设备针对点对点光束扫描操作模式进行了设计和优化。稳态模拟驱动电压导致微镜的稳态模拟旋转角。电压和角度之间存在一一对应的高度可重复性。还提供了许多谐振型扫描MEMS反射镜设计，用于视频投影和高速成像，例如48000行/秒。

动态模式扫描

设备还可以在动态、谐振模式下运行。在这种模式下，接近共振频率的低驱动电压会导致较大的双向光束角（例如-16°到16°）。 对于MEMS显示器应用，谐振频率范围从几kHz到24 kHz甚至更高。 共振取决于致动器类型（系列）以及微镜类型和直径。

高速点对点光束扫描

我们专有的无云台设计的主要优势是能够在两个轴上以同样高的速度扫描光束。具有0.8 mm直径大小的微镜的典型设备可实现高达500 rad/s的角光束扫描，并且在两个轴上的第一谐振频率约为4 kHz。<100 µs的大角度阶跃响应建立时间已在具有直径达0.8 mm的微镜的设备上得到证明。 具有2.0毫米直径反射镜的设备可以实现小于1毫秒的大角度步进稳定时间，第一谐振频率约为1.3 kHz。

模块化设计

为了生产具有不同镜面尺寸的设备，大多数技术不仅需要新的制造周期，而且在某些情况下还需要完成致动器的重新设计。Mirrorcle Technologies是全球唯一一家提供基于MEMS的可定制孔径尺寸光束控制技术的供应商。 即，在自对准硅制造工艺中设计和实现了针对速度、角度、面积足迹或谐振驱动优化的静电致动器组。 金属化、超低惯性单晶镜通过特殊的硅梁设计而变得坚硬和平坦，是在单独的制造过程中创建的。 反射镜的直径和几何形状是针对给定应用选择的，以优化速度、光束尺寸和扫描角度之间的权衡。 随后将镜子粘合到致动器上。

有多种无万向节两轴致动器设计可供选择。执行器本身就适用于模块化设计方法。每个致动器可以使用任意长度的旋转器、任意刚性连杆和任意定位的机械旋转变压器。库存类别包括4.25mm x 4.25mm芯片尺寸、5.2mm x 5.2mm芯片尺寸和7.25mm x 7.25mm芯片尺寸。 在大多数情况下，由于增加的静电力，较大的芯片尺寸可以提供更好的性能。 除了芯片尺寸之外，其他参数也有所不同，例如 刚性。 例如，一个设备系列设计为在大角度（-7.5°到+7.5°机械倾斜）下运行，而另一个系列设计为在小尖端倾斜角度但显着更高的速度下运行（-1.0°到+1.0°机械倾斜）。