产品中心
10 Watt EUV 光源
EQ-10采用了升级版的无电极Z-pinch™技术,具有紧凑易用,高可靠性以及低成本等特点非常适用于测量以及研究等应用领域。该款光源已经在全球交付30多台,均得到客户的一致好评,现已经成为EUV用户的主要光源来源。
产品特点
· 独特的无电极Z-Pinch技术(专利正在申请中)低电极碎屑/低成本
· 使用Xenon将10W转换为2pi 产品功率充足适用于各种应用
· 高达2 kHz的重复频率 可以一周七天,每天24小时连续工作
· 小等离子体尺寸 直径小于1mm
· 小型紧凑性价比高 每EUV瓦特的成本低 占地面积小
· 符合CE和SEMI S2-0715标准
典型应用
· EUV测量
· EUV抗蚀剂显影
· 缺陷检查
· EUV显微
相关文件
产品介绍

EQ-10采用了升级版的无电极Z-pinch™技术,具有紧凑易用,高可靠性以及低成本等特点非常适用于测量以及研究等应用领域。该款光源已经在全球交付30多台,均得到客户的一致好评,现已经成为EUV用户的主要光源来源。



原理介绍

为了满足不同应用的使用需求,该产品在使用上进行了如下的优化,以期更加地用户友好:1、用户可以根据对峰值功率和峰值亮度的不同来调节EUV的光输出。2、在典型操作中,等离子体的直径通常小于1mm。3、系统外侧留有光学接口,方便客户进行应用程序设备的连接。4、自定义彩色用户页面,客户可跟根据需求选择手动或者自动菜单。



产品型号及主要指标
相关产品
在线留言
导航 产品 资料 电话