微型，高性能，电磁驱动的二维激光扫描MEMS振镜
S13124-01是电磁驱动振镜，结合了我们独特的MEMS（微机电系统）技术。 通过将磁铁布置在振镜下方，可以使设备占地空间更小。 振镜周围的线圈中流动的电流根据弗莱明定律驱动振镜产生洛伦兹力。 滨松MEMS反射振镜具有大的光学偏转角和高反射镜反射率。
微型，高性能，电磁驱动的二维激光扫描MEMS振镜
S13124-01是电磁驱动振镜，结合了我们独特的MEMS（微机电系统）技术。 通过将磁铁布置在振镜下方，可以使设备占地空间更小。 振镜周围的线圈中流动的电流根据弗莱明定律驱动振镜产生洛伦兹力。 滨松MEMS反射振镜具有大的光学偏转角和高反射镜反射率。
| 类型 | For 2-dimensional scan |
| 扫描模式 | 2-axis linear scan |
| 运行模式 | First axis: Linear mode Second axis: Linear mode |
| 振镜尺寸 | φ1.95 mm |
| 振镜材料 | Aluminium |
| 光学偏转角 | First axis: ±10° Second axis: ±10 ° |
| 驱动频率（最大值） | First axis: 90 Hz Second axis: 90 Hz |
